- Spezielle Schadstoffe
Silane und Siloxane
Silane und Siloxane
Siliziumhaltige Verbindungen aus der Halbleiter- und Silikonindustrie. Können zu Ablagerungen führen.
Emissionsquellen
- Halbleiterindustrie
- Silikonproduktion
- PV-Industrie
Gesundheitsgefahren
- Reizend
- Ablagerungen in Atemwegen
Grenzwerte
Gültige Emissionsgrenzwerte nach TA Luft
TA Luft
Gesamt-C 50 mg/m
Emissionsgrenzwert
Arbeitsplatzgrenzwert
Substanzspezifisch
AGW / MAK-Wert
Geeignete Reinigungsverfahren
Diese Verfahren eignen sich zur Abscheidung von Silane und Siloxane
Thermische Oxidation
Nasswäscher
Filtration
- Praxisfall: Probleme durch Silane und Siloxane
Beratung zu Silane und Siloxane
Wir beraten Sie zur optimalen Abscheidung und Einhaltung der Grenzwerte.
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Lassen Sie uns gemeinsam die optimale Lösung finden.